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五金蝕刻機和光刻機有什么區別

發表時間:2019-11-06 14:30:55
五金蝕刻機和光刻機的區別:光刻機把圖案印上去,然后刻蝕機根據印上去的圖案刻蝕掉有圖案(或者沒有圖案)的部分,留下剩余的部分。五金蝕刻機刻蝕相對光刻要容易。如果把在硅晶體上的施工比成木匠活的話,光刻機的作用相當于木匠在木料上用墨斗劃線,刻蝕機的作用相當于木匠在木料上用鋸子、鑿子、斧子、刨子等施工。蝕刻機和光刻機性質一樣,但精度要求是天壤之別。木匠做細活,一般精確到毫米就行。做芯片用的刻蝕機和光刻機,要精確到納米。現在的手機芯片,如海思麒麟970,高通驍龍845都是臺積電的10納米技術。10納米有多小呢?打個比方。如果把一根直徑是0.05毫米頭發絲,按軸向平均剖成5000片,每片的厚度大約就是10納米。現在世界上最先進的光刻機是荷蘭的ASML公司,最小到10納米。臺積電買的都是它的光刻機。ASML公司實際上是美國、荷蘭、德國等多個國家技術合作的結果。因為這方面的研究難度太大,單個國家完成不了。除了ASML,世界上只有我們還在高端光刻機上努力研發。

我們是受到技術禁運的,不能買他最先進的產品,國內上海量產的是90納米的光刻機。技術上有差距。2017年,長春光機所“極紫外光”技術獲得突破,預計能達到22-32納米,技術差距縮小了。

我相信,不久的將來,我們的科技人員一定能研制出世界一流的光刻機,不再被卡脖子。核心技術、關鍵技術、國之重器必須立足于自己。科技的攻關要摒棄幻想,靠我們自己。

我們五金蝕刻技術已經突破,5納米的刻蝕機我們也能自主生產,現在卡脖子的是光刻機。在芯片加工過程中,光刻機放樣,刻蝕機施工,清洗機清洗。然后反復循環幾十次,一般要500道左右的工序,芯片——也就是晶體管的集成電路才能完成。放樣達不到精度,刻蝕機就失去用武之地了。


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